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硅靶 (Si)
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硅靶广泛应用于光学、光电子、半导体、触摸屏等领域器件镀膜。
元素符号
:
Si
纯度
:
4N+
形状
:
平面靶 ；旋转靶
外观
:
深灰色，半金属
典范密度
:
2.32g/cm?
通例尺寸
:
平面靶
: 500x500x30mm
旋转靶
: L4000mm
其它尺寸可定制
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钽靶 (Ta)
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